반도체 제조 과정은 크게 웨이퍼 위에 회로를 새기는 전공정(Front-End)과 칩을 완성하고 검사하는 후공정(Back-End)으로 나뉩니다.
전공정 장비 - 증착/식각
전공정 장비 - 세정/포토 트랙